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发明名称 SEMICONDUCTOR PELLET CUTTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01316155(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880144959 申请日期 1988.06.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUKADA MITSUKI;HAYASHI HIDEAKI
分类号 B23Q17/24;H01L21/304;H01L29/74 主分类号 B23Q17/24
代理机构 代理人
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