发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01316953(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880148181 申请日期 1988.06.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANEDA KOICHI
分类号 H01L21/208;H01L21/66 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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