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发明名称 FINE PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH01316931(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880146935 申请日期 1988.06.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 ONO TOSHIRO;FUJINAMI AKIHIRA;MATSUO SEITARO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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