发明名称 INTERFEROMETRIC SURFACE PROFILER FOR SPHERICAL SURFACE
摘要
申请公布号 GB8924091(D0) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 GB19890024091 申请日期 1989.10.26
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人
分类号 G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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