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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01300551(A) 申请公布日期 1989.12.05
申请号 JP19880131901 申请日期 1988.05.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGAI KENJI;ITO TSUNEO
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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