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发明名称 OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01292821(A) 申请公布日期 1989.11.27
申请号 JP19880122017 申请日期 1988.05.20
申请人 NIKON CORP 发明人 KAMIYA SABURO
分类号 G02B27/10;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S3/101 主分类号 G02B27/10
代理机构 代理人
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