发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01290229(A) 申请公布日期 1989.11.22
申请号 JP19880121117 申请日期 1988.05.18
申请人 MEIDENSHA CORP 发明人 HANAKURA MITSURU
分类号 H01L21/322;H01L21/68 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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