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发明名称
EXPOSING METHOD
摘要
申请公布号
JPH01283926(A)
申请公布日期
1989.11.15
申请号
JP19880115263
申请日期
1988.05.11
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MIYAZAKI JUNJI;KAWAI AKIRA;NAKAJIMA MASAYUKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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