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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01282835(A) 申请公布日期 1989.11.14
申请号 JP19880112091 申请日期 1988.05.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASHIMOTO KOICHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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