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发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01276713(A)
申请公布日期
1989.11.07
申请号
JP19880105748
申请日期
1988.04.28
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
SAIKI KAZUYOSHI
分类号
C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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