发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 SU1520608(A1) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 SU19874275450 申请日期 1987.07.06
申请人 LAVRENTEV OLEG A,SU;SAPPA NIKOLAJ N,SU 发明人 LAVRENTEV OLEG A,SU;SAPPA NIKOLAJ N,SU
分类号 H01J27/04;H01J29/46 主分类号 H01J27/04
代理机构 代理人
主权项
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