| 发明名称 |
PRECISION TABLE FOR ULTRA-HIGH VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01274936(A) |
申请公布日期 |
1989.11.02 |
| 申请号 |
JP19880106415 |
申请日期 |
1988.04.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SAEKI HIROSHI;IKEDA JUNJI |
| 分类号 |
G12B5/00;B23Q1/00;B23Q1/62;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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