| 摘要 |
Une source encapsulée de forte luminosité est utilisée avec un système à faisceau électronique tel qu'un microscope à faisceau électronique. La source comprend de préférence un émetteur de champ (48). La source comprend des moyens qui la renferment et qui définissent une enceinte à vide ultrapoussé (28) pour l'émetteur de champ. Une lentille (78) faisant partie de l'enceinte à vide ultrapoussé pour la source définit une ouverture à pression différentielle (82). D'autres éléments de lentille (68, 74) attirent des électrons de l'émetteur de champ et forment un foyer sur un axe au voisinage de l'ouverture de pression différentielle qui sert de source ponctuelle effective pour le système à faisceau électronique associé. La source peut être intégrée en permanence ou peut-être modulaire. Si la source est modulaire, elle peut être assemblée, testée et stockée dans des conditions à vide ultrapoussé pour un assemblage OEM ou comme pièce de rechange. |
