| 发明名称 |
DEPOSITING METAL FILMS ON DIELECTRIC SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2181456(B) |
申请公布日期 |
1989.10.25 |
| 申请号 |
GB19860022272 |
申请日期 |
1986.09.16 |
| 申请人 |
* GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
DAVID WINFIELD * WOODRUFF |
| 分类号 |
C23C14/18;C04B41/52;C04B41/89;C23C14/34;C23C16/02;C23C16/08;C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C14/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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