| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING THIN COMPOSITE OXIDE SUPERCONDUCTING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01264910(A) |
申请公布日期 |
1989.10.23 |
| 申请号 |
JP19880328300 |
申请日期 |
1988.12.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TANAKA SABURO;ITOZAKI HIDEO;HIGAKI KENJIRO;YATSU SHUJI;JODAI TETSUJI |
| 分类号 |
H01L39/24;C01B13/14;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/58;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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