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经营范围
发明名称
WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01263283(A)
申请公布日期
1989.10.19
申请号
JP19880093749
申请日期
1988.04.15
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
IDOTA TAKESHI;OSHIMA MASAAKI
分类号
C23F1/08
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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