发明名称 CVD COATING PROCESS FOR PRODUCING COATINGS AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THE PROCESS
摘要
申请公布号 GB8920021(D0) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 GB19890020021 申请日期 1989.09.05
申请人 CARL-ZEISS-STIFTUNG 发明人
分类号 C23C16/50;C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/48;C23C16/511 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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