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发明名称
INTERFEROMETER
摘要
申请公布号
JPH01250834(A)
申请公布日期
1989.10.05
申请号
JP19880079264
申请日期
1988.03.31
申请人
CANON INC
发明人
TACHIKAWA HITOSHI;AKETAGAWA MASATO;BAN MINOKICHI
分类号
G01J3/02;G01J3/26
主分类号
G01J3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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