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经营范围
发明名称
FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号
JPH01245546(A)
申请公布日期
1989.09.29
申请号
JP19880071850
申请日期
1988.03.28
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KOBAYASHI KEIJI
分类号
H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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