发明名称 FORMATION OF CONNECTION HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01231354(A) 申请公布日期 1989.09.14
申请号 JP19880055998 申请日期 1988.03.11
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 IKEDA YUMIKO;IWAMORI TOSHIMICHI;TEZUKA HIROAKI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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