发明名称 PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01230427(A) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 JP19880055027 申请日期 1988.03.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMORI TOMOHIRO
分类号 H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/34;H01B12/06;H01B13/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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