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发明名称 A MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2181747(B) 申请公布日期 1989.09.13
申请号 GB19860021746 申请日期 1986.09.10
申请人 * SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAKAHIRO * SUYAMA;KOHSEI * TAKAHASHI;SABURO * YAMAMOTO;TOSHIRO * HAYAKAWA;MASAFUMI * KONDO
分类号 H01L21/203;C30B23/02 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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