发明名称 APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01215785(A) 申请公布日期 1989.08.29
申请号 JP19880040485 申请日期 1988.02.23
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 YAMASHITA ICHIRO;KOUYA HISASHI;SHIMIZU KOTARO;BANBA YOSHIAKI;SHIMANUKI YASUSHI
分类号 C30B15/00;C30B15/14;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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