发明名称 MANUFACTURE OF ULTRAHIGH-FREQUENCY SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01205545(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880028876 申请日期 1988.02.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 USUI TOSHIO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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