| 发明名称 |
MEASUREMENT OF ION BEAM CURRENT AND CONTROL DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01195644(A) |
申请公布日期 |
1989.08.07 |
| 申请号 |
JP19880020527 |
申请日期 |
1988.01.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MUKAI YUJI;TANAKA HIROYOSHI;TSUDA YOSHIYUKI;YASUI HIDEAKI |
| 分类号 |
H01J27/02;H01J37/04;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J27/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
