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发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01193672(A) 申请公布日期 1989.08.03
申请号 JP19880017741 申请日期 1988.01.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OKUBO KAZUO;OZAKI KAZUYUKI;HAMA SOICHI
分类号 G01R31/302;G01R19/00;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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