发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01191450(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880014489 申请日期 1988.01.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKEUCHI HIROSHI;KIMURA SHIGEKI
分类号 H01L23/52;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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