发明名称 Process for removing contaminant
摘要
申请公布号 US4853081(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 US19870114941 申请日期 1987.10.30
申请人 IBM CORPORATION 发明人 MLYNKO, WALTER E.
分类号 B08B7/00;C23F4/00;H05K3/00;H05K3/26;H05K3/42 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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