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发明名称 APPARATUS FOR CONTACT-FREE MEASURING OF ELECTROPHYSICAL PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 SU1497593(A1) 申请公布日期 1989.07.30
申请号 SU19874296961 申请日期 1987.08.20
申请人 ANOSHIN YURIJ A,SU;BAZIN VIKTOR M,SU;KABAK SERGEJ S,SU;SAGINOV LEONID D,SU 发明人 ANOSHIN YURIJ A,SU;BAZIN VIKTOR M,SU;KABAK SERGEJ S,SU;SAGINOV LEONID D,SU
分类号 G01R31/265;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/265
代理机构 代理人
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