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发明名称
ALIGNING METHOD
摘要
申请公布号
JPH01187817(A)
申请公布日期
1989.07.27
申请号
JP19880011729
申请日期
1988.01.21
申请人
NIKON CORP
发明人
SUWA KYOICHI;HIRUKAWA SHIGERU;TATENO HIROKI
分类号
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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