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发明名称
INTRODUCTION OF STRAIN INTO REAR OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH01186634(A)
申请公布日期
1989.07.26
申请号
JP19880007178
申请日期
1988.01.14
申请人
NEC CORP
发明人
SAKAI AKIRA
分类号
H01L21/268;H01L21/322
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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