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发明名称 CHARGED BEAM EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01181523(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880003204 申请日期 1988.01.12
申请人 OMRON TATEISI ELECTRON CO 发明人 NAKAMURA KAZUTO
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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