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发明名称
FORMATION OF OXYNITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH01175237(A)
申请公布日期
1989.07.11
申请号
JP19870335422
申请日期
1987.12.28
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SHIOTANI YOSHIMI;MATSUDA YOSHIHIRO
分类号
H01L21/318
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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