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发明名称 DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF SEMICONDUCTOR FILMS
摘要
申请公布号 SU1488730(A1) 申请公布日期 1989.06.23
申请号 SU19874250345 申请日期 1987.05.27
申请人 KH I RADIOELEKTRONIKI IM.AKAD.M.K.YANGELYA 发明人 GORDIENKO YURIJ E,SU;OVCHARENKO LEONID A,SU;GUD YURIJ I,SU
分类号 G01B15/02;G01N22/00 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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