发明名称 HEAT TREATMENT FURNACE
摘要
申请公布号 JPH01158737(A) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 JP19870316125 申请日期 1987.12.16
申请人 RIKEN CORP 发明人 OGASAWARA KOZO;SENDA NOBUHIRO
分类号 H01L21/31;H01L21/22;H05B3/66 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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