发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN-FILM CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01157553(A) |
申请公布日期 |
1989.06.20 |
申请号 |
JP19880172109 |
申请日期 |
1988.07.11 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HARADA YOICHI;YOSHIGAMI NOBORU |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/3205;H01L27/14;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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