发明名称 PRODUCTION OF CRYSTALLINE ALUMINUM NITRIDE
摘要
申请公布号 JPH01156460(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19870313409 申请日期 1987.12.11
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO;SHIN GIJUTSU KENKYUSHO:KK 发明人 FUJIHANA TAKANOBU;IWAKI MASAYA
分类号 C23C14/06;C23C14/22;C23C14/48 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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