发明名称 GRANULE SUPPLYING PIPE
摘要
申请公布号 JPH01148781(A) 申请公布日期 1989.06.12
申请号 JP19870306169 申请日期 1987.12.03
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 MATSUDA MASATO;SUZUKI OSAMU;WAKASA YASUO
分类号 C30B15/02;C30B15/10;H01L21/18 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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