发明名称 METHOD OF DETERMINING ELECTRON DIFFUSION LENGTH IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 SU1485327(A1) 申请公布日期 1989.06.07
申请号 SU19874302480 申请日期 1987.06.30
申请人 ANDRUSHCHENKO ALEKSANDR L,SU;KLIMIN ALEKSANDR,SU;STUCHINSKIJ GEORGIJ B,SU;SHCHEMELEV VLADISLAV N,SU 发明人 ANDRUSHCHENKO ALEKSANDR L,SU;KLIMIN ALEKSANDR I,SU;STUCHINSKIJ GEORGIJ B,SU;SHCHEMELEV VLADISLAV N,SU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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