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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04109630(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900227832 申请日期 1990.08.29
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MURAI ICHIRO;ANZAI KENJI
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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