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发明名称 DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01143328(A) 申请公布日期 1989.06.05
申请号 JP19870301833 申请日期 1987.11.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU;YOSHINAGA TAKASHI;ARAKI YOICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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