发明名称 WAFER CENTERING AND POSITIONING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER TRANSFER EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01140739(A) 申请公布日期 1989.06.01
申请号 JP19870299053 申请日期 1987.11.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NARUSE SHIRO
分类号 H01L21/68;B23Q3/18;G05D3/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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