发明名称 METHOD FOR OBTAINING REGIONS OF DIELECTRICALLY ISOLATED SINGLE CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 EP0227523(A3) 申请公布日期 1989.05.31
申请号 EP19860402562 申请日期 1986.11.19
申请人 SILICONIX INCORPORATED 发明人 BLANCHARD, RICHARD A.
分类号 H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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