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发明名称 PLASMA ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01137632(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 JP19870295269 申请日期 1987.11.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAKEHI YUTAKA;OMOTO YUTAKA
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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