发明名称 Process and apparatus for coating at least one object
摘要
申请公布号 EP0508359(B1) 申请公布日期 1996.10.09
申请号 EP19920105963 申请日期 1992.04.07
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KUEGLER, EDUARD, DR. DIPL.-ING.
分类号 C23C14/34;C23C14/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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