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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM GENERATOR
摘要
申请公布号
JPH01131096(A)
申请公布日期
1989.05.23
申请号
JP19870287620
申请日期
1987.11.13
申请人
SHARP CORP
发明人
YAMASHITA TATSUYA
分类号
H01L21/203;C30B23/08
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
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