| 发明名称 |
HIGH-FREQUENCY INDUCTION HEATING COIL FOR FZ AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01131094(A) |
申请公布日期 |
1989.05.23 |
| 申请号 |
JP19870289395 |
申请日期 |
1987.11.18 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TAGUCHI KENICHI;NAKAZAWA KEIICHI;WATANABE MASATAKA |
| 分类号 |
H01L21/208;C30B13/20;H05B6/32;H05B6/36 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
