发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01123418(A) 申请公布日期 1989.05.16
申请号 JP19870280976 申请日期 1987.11.09
申请人 NEC CORP 发明人 SATO HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L29/41 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址