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发明名称 METHOD FOR WASHING WORK
摘要
申请公布号 JPH01119379(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870275721 申请日期 1987.11.02
申请人 SAN METSUKU:KK 发明人 TAKAI KAORU;AKASAKI TSUNEO;UENO SATOSHI
分类号 H01L21/304;B08B3/08;B08B7/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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