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发明名称 INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01110221(A) 申请公布日期 1989.04.26
申请号 JP19870268699 申请日期 1987.10.23
申请人 KANEBO LTD 发明人 NISHI NORIYUKI;URAGAMI AKIRA;SANADA TAKAMASA
分类号 G01F23/00;G01F17/00 主分类号 G01F23/00
代理机构 代理人
主权项
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